| 产品型号 | ViScopeX 复合显微3D轮廓仪 |
| 测量原理 | 干涉CSI、PSI、ePSI 共聚焦Confocal 投影聚焦变化PFV |
| 测量类型 | 2D图像、3D图像、真彩图像 |
| LED类型 | R、G、B、W |
| 相机 | 5Mpx: 2448 x 2048 |
| 鼻轮 | 6孔电动鼻轮 |
| RMS重复性 | 0.008nm |
| 垂直扫描范围 (线性平台) | 线性平台：40mm，分辨率：5nm |
| 垂直扫描范围 (压电位移台) | 压电位移台：100um，分辨率：1nm |
| 测量范围 | PSI: 150nm， CSI/ePSI: 10mm， Confocal/PFV: 34mm |
| SDK支持 | DLL开发包 (Windows，C/C++/C#) |
| 物镜 | 明场 | 干涉 | ||||||||
| 放大倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X |
| 数值孔径 | 0.15 | 0.3 | 0.45 | 0.8 | 0.9 | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 |
| 工作距离(mm) | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1 | 1 | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
| 视场范围(um) | 1689x1413 | 845x707 | 338x283 | 169x142 | 85x71 | 3378x2826 | 1689x1413 | 845x707 | 338x283 | 169x142 |
| 像素分辨率(um) | 0.69 | 0.34 | 0.17 | 0.07 | 0.035 | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.17 | 0.07 |
| 光学分辨率(um) | 0.94 | 0.47 | 0.31 | 0.18 | 0.16 | 1.87 | 1.08 | 0.47 | 0.35 | 0.26 |
| 系统噪声(nm) | 100 | 30 | 8 | 5 | 3 | PSI/ePSI 0.1 nm(采用 PZT 时 0.01 nm) CSI1 nm | ||||
| 最大斜率 (°) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 4 | / | 17 | 24 | 33 |
电话：0755-8602-8527 / 8927
邮箱：Marketing@hhwytech.com
华汉伟业公众号扫一扫
关注最新资讯
