TGV 来料后 AOI 检测设备：Zeus HS1000

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TGV 来料后 AOI 检测设备：Zeus HS1000

Zeus HS1000可支持2*2μm L/S(线宽/线距)的先进基板制程。系统采用相干光扫描成像技术，结合纳米级精密运动平台，实现对基板表面及亚表面缺陷的高灵敏度检测，为后续TGV工艺筑牢第一道质量防线。

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待测物：TGV 玻璃基板来料，兼容板级 @510mm*515mm、晶圆级 @6"、8"、12"

来料厚度：0.1-1.5mm

检测项目：表面脏污、异物、划痕、裂纹、残胶、手指印、Particle、Stain

检测范围：对激光诱导面进行全检、并自动输出缺陷 Mapping 图

产能：15UPH

产品优势：
1）检测灵敏度：尺寸≥200nm Particle 缺陷
2）具备与诱导点位图纸叠图合档功能，若缺陷与激光打孔点重合，自动报警提示

技术方案：BF/DF 双成像通道

检测灵敏度200nm，检测速度15UPH
可支持2×2μm L/S 的精细基板制程
纳米级精密运动平台的校准能力
可实现划痕，裂纹方面等检测
相干光扫描成像光学系统

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