TGV 来料后 AOI 检测设备：LumiPanel HS1000

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TGV 来料后 AOI 检测设备：LumiPanel HS1000

LumiPanel HS1000可支持2*2μm L/S(线宽/线距)的先进基板制程。系统采用相干光扫描成像技术，结合纳米级精密运动平台，实现对基板表面及亚表面缺陷的高灵敏度检测，为后续TGV工艺筑牢第一道质量防线。

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1、检测来料：

①检测产品：TGV来料后玻璃基板；

②板材尺寸：板级@510mm*515mm，晶圆级@6"、8"、12"；

③来料厚度：0.1-1.5mm；

④上下料方式：半自动。

2、检测项目：板面脏污、异物、划痕、裂纹、残胶、手指印、崩边、Particle等。

3、检测方法：相干光扫描成像光学系统，明暗场多模态检测。

4、检测精度：

①最小缺陷：0.2μm‌@Particle；

②量测精度：/；

③位置度：/。

5、检测节拍：20WPH。

6、整机参数：

①设备尺寸：1730x1950x2060mm(不含三色灯）；

②设备重量：2600kg。

7、选配：面板FOUP EFEM(全自动机型)、晶圆级治具、数据存储服务器、产品ID读码、SECS/GEM。

检测灵敏度200nm，检测速度15UPH
可支持2×2μm L/S 的精细基板制程
纳米级精密运动平台的校准能力
可实现划痕，裂纹方面等检测
相干光扫描成像光学系统

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